Берлин Е.В.: Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии » Нанотехнологии » Infanata

« НАНОТЕХНОЛОГИИ »	25 июня 2012
ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ В ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ТЕХНОЛОГИИ	№ 56266692

Автор: ivan2007007 :: Просмотров: 3280

Название: Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Автор: Берлин Е.В.
Издательство: Техносфера
Год издания: 2010
Страниц: 528
Жанр: Нанотехнологии

Описание
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии — реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

» depositfiles.com

Ключевые теги: процесс, магнетрон, травление, использование, нанесение, технолог, книга, нанотехнология, изготовление, источник, особенность, разработка, исследование, плотность, плазма, берлин

Администрация рекомендует нижеследующее: Что такое форматы pdf и djvu и чем их читать : Правила на сайте

(голосов: 7)

Уважаемый посетитель вы вошли на сайт как незарегистрированный пользователь. Мы рекомендуем вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем.

Информация

Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии в данной новости.

ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ В ТОНКОПЛЕНОЧНОЙ ТЕХНОЛОГИИ