| |
| Популярные книги |
|
|
|
|
| « НАНОТЕХНОЛОГИИ » |
20 декабря 2017 |
ПРОЦЕССЫ ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ В МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЯХ: УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ |
№ 70833859 |
|
|
|
|
ОписаниеВ свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Ключевые теги: процесс, нанотехнология, технолог, микромеханика, травление, микром, оптимизация, соответствие, характер, диагностика, инженер, работник, вопрос, аспирант, студент, галперин
|
|
|
(голосов: 5) |
Уважаемый посетитель вы вошли на сайт как незарегистрированный пользователь. Мы рекомендуем вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем. |
 |
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии в данной новости. |
|
|
ШКОЛЬНАЯ ЛИТЕРАТУРА
