| |
| Популярные книги |
|
|
|
|
| Infanata » НАНОТЕХНОЛОГИИ » ВВЕДЕНИЕ В ПРОЦЕССЫ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЙ: УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ. ТОМ 2 |
| « НАНОТЕХНОЛОГИИ » |
22 мая 2017 |
ВВЕДЕНИЕ В ПРОЦЕССЫ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЙ: УЧЕБНОЕ ПОСОБИЕ ДЛЯ ВУЗОВ. ТОМ 2 |
№ 71727171 |
|
|
|
|
ОписаниеРазделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии. Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.
Ключевые теги: микром, процесс, область, нанотехнология, книга, травление, наноэлектроника, метод, легирование, диффузия, осаждение, окисление, оптоэлектроника, техник, вакуум, имплантация, акуленок
|
|
|
(голосов: 5) |
Уважаемый посетитель вы вошли на сайт как незарегистрированный пользователь. Мы рекомендуем вам зарегистрироваться либо войти на сайт под своим именем. |
 |
Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии в данной новости. |
|
|
ШКОЛЬНАЯ ЛИТЕРАТУРА
